為什么離子注入需要一定的入射角度？

傾斜注入主要是解決橫向效應(yīng)與溝道效應(yīng)。

垂直注入會造成橫向效應(yīng)。離子注入的橫向效應(yīng)是指離子在注入過程中除了在垂直方向上的滲透（縱向擴(kuò)散）外，還會在水平方向（橫向）上發(fā)生擴(kuò)散的現(xiàn)象。這種橫向擴(kuò)散是由于注入的離子在晶體中與晶體原子相互碰撞造成的，導(dǎo)致部分注入的離子偏離了原本直線的軌跡。橫向效應(yīng)會影響有效溝道長度。

離子注入角度過大，會導(dǎo)致大面積的陰影區(qū)，這些陰影區(qū)被光刻膠阻擋，無法被注入。

文章來源：Tom聊芯片智造