漢軒微電子制造(江蘇)有限公司6英寸車規(guī)級(jí)功率器件制造項(xiàng)目由乂易半導(dǎo)體科技(無錫)有限公司發(fā)起,公司擁有硅基Trench MOSFET、超結(jié)金氧半場效晶體管(SJ)、分裂柵型溝槽MOSFET(SGT)、肖特基二極管(SBD)、高壓緣柵雙極型晶體管(IGBT)等成熟技術(shù)和產(chǎn)品的制造團(tuán)隊(duì),團(tuán)隊(duì)自有專有技術(shù)超過百項(xiàng)。中試線支持多種工藝平臺(tái)代工及驗(yàn)證,包含BGBM化鍍工藝、Multi-EPI工藝、薄片離子注入工藝、特殊金屬淀積及l(fā)ift off工藝等特殊工藝平臺(tái)、最小工藝尺寸為250nm,最大產(chǎn)能為功率器件6萬片/月。本項(xiàng)目從設(shè)計(jì)開始就提出綠建目標(biāo),即滿足國內(nèi)星級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。項(xiàng)目將在節(jié)能減排、能源回收、污水處理、廢氣處理等多方面做到高標(biāo)準(zhǔn)、嚴(yán)要求。通過對新材料、新技術(shù)、新能源、新設(shè)計(jì)的應(yīng)用,響應(yīng)總書記“綠水青山就是金山銀山”的偉大號(hào)召。
本項(xiàng)目將積極推動(dòng)設(shè)備、材料國產(chǎn)化,首條產(chǎn)線使用的國產(chǎn)設(shè)備預(yù)計(jì)超過20%,將會(huì)與眾多國內(nèi)設(shè)備制造商深度合作,對國產(chǎn)的核心裝備進(jìn)行比對性驗(yàn)證,提出改善建議,提高國產(chǎn)設(shè)備的技術(shù)精度和穩(wěn)定性。在生產(chǎn)原材料方面,預(yù)計(jì)國產(chǎn)化率將超過90%,包括光阻、靶材、化學(xué)品、研磨液等,均主要使用國產(chǎn)品牌。
本項(xiàng)目擁有來自全球多國家和地區(qū)的老、中、青三代優(yōu)秀技術(shù)團(tuán)隊(duì),以功率器件研發(fā)、制造為核心業(yè)務(wù)。
本項(xiàng)目將積極推動(dòng)本地人才培養(yǎng),除核心團(tuán)隊(duì)外,其他各個(gè)方面的人員將主要從本地高校中招聘和培養(yǎng)。同時(shí)一線操作人員也將和本地的中專、大專院校合作培養(yǎng)。
本項(xiàng)目將承擔(dān)新技術(shù)研發(fā)、行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)制定、人才培養(yǎng)、產(chǎn)品設(shè)計(jì)驗(yàn)證及失效分析、原材料定性定量分析等工作。項(xiàng)目核心技術(shù)團(tuán)隊(duì)為本項(xiàng)目的技術(shù)革新帶來持續(xù)動(dòng)力。
6英寸車規(guī)級(jí)功率器件制造項(xiàng)目利用徐州的區(qū)位優(yōu)勢,逐步推進(jìn)車規(guī)級(jí)功率器件產(chǎn)品制造和技術(shù)研發(fā),同時(shí)帶動(dòng)徐州半導(dǎo)體相關(guān)產(chǎn)業(yè)鏈的進(jìn)一步完善;通過對能源和環(huán)境的關(guān)注,響應(yīng)“綠水青山就是金山銀山”的號(hào)召;通過對國產(chǎn)設(shè)備和材料的深度使用和聯(lián)合開發(fā),推動(dòng)半導(dǎo)體行業(yè)國產(chǎn)化進(jìn)程;通過對本地人才培養(yǎng),為行業(yè)發(fā)展積蓄力量;通過項(xiàng)目建設(shè),為車規(guī)級(jí)功率器件產(chǎn)業(yè)打造燈塔和引擎。本項(xiàng)目將為國家新能源汽車事業(yè)的整體布局、江蘇省高端制造產(chǎn)業(yè)規(guī)劃、徐州市的產(chǎn)業(yè)鏈完善和功率器件行業(yè)發(fā)展做出重要貢獻(xiàn)。
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