晶圓出貨時如何儲存與運輸?
知識星球(星球名:芯片制造與封測社區(qū))里的學員問:晶圓在晶圓廠完成全部工序后,存儲和運輸有哪些特別的要求,是否需要特殊環(huán)境包裝呢?
存儲一般是放在氮氣柜里,氮氣柜通的有高純氮氣,且氮氣柜可以控制濕度與溫度,濕度在20-24℃,濕度30%-50%,具體要根據(jù)現(xiàn)場情況來定。 運輸一般需要將晶圓放在晶圓盒中,晶圓盒會放在防靜電的袋子里,袋子里會被抽真空,之后裝晶圓盒的袋子會放入箱子中,箱子中會有軟墊等緩沖材料保護,當然這些在無塵車間完成的。如果有條件,也可以在運輸車輛里創(chuàng)造氮氣,控溫控濕的環(huán)境。其他的比如標簽一定要貼好,以便跟蹤。
清潔度:任何可能污染晶圓的氣體或顆粒都應避免,因此要抽真空或在高純氮氣中。
溫度和濕度:極端的溫度變化會導致晶圓材料發(fā)生變化,而過高的濕度導致晶圓表面吸水,而過低的濕度增加靜電荷的積累。
物理防護:晶圓在運輸過程中需要防止碰撞和壓力,外力很容易造成晶圓的破碎,因此需要用緩沖材料包裝。
靜電:靜電放電會燒毀芯片,因此需要使用防靜電的包裝材料,在包裝時也要對晶圓做防靜電處理。