最后一點(diǎn),摩爾定律已經(jīng)被用來(lái)創(chuàng)建一個(gè)時(shí)間表,半導(dǎo)體行業(yè)可以圍繞它安排自己的發(fā)展。摩爾定律最終成為了一個(gè)自我實(shí)現(xiàn)的預(yù)言,部分原因是公司以這種方式組織自己,以根據(jù)摩爾的預(yù)測(cè)實(shí)現(xiàn)改進(jìn)。或許,與其說(shuō)是運(yùn)氣,不如說(shuō)是計(jì)劃!作為經(jīng)濟(jì)學(xué)的摩爾定律如果摩爾定律不是自然定律,那么它到底是什么?“摩爾定律實(shí)際上是關(guān)于經(jīng)濟(jì)學(xué)的。我的預(yù)測(cè)關(guān)于半導(dǎo)體行業(yè)的未來(lái)方向,我發(fā)現(xiàn)通過其一些基本經(jīng)濟(jì)學(xué)可以最好地理解該行業(yè)?!甑恰つ枴?/span>然而,僅僅說(shuō)“與經(jīng)濟(jì)學(xué)有關(guān)”并不能真正幫助我們理解正在發(fā)生的事情。讓我感到意外的是,在研究這篇文章時(shí),關(guān)于摩爾定律背后的經(jīng)濟(jì)學(xué)似乎被寫得出奇地少。這或許是因?yàn)檫@個(gè)主題很復(fù)雜,而且它位于兩個(gè)專業(yè)領(lǐng)域的交匯處。摩爾定律是半導(dǎo)體制造經(jīng)濟(jì)學(xué)和底層技術(shù)之間一系列高度復(fù)雜相互作用的最終結(jié)果。為了突破這種復(fù)雜性,對(duì)摩爾定律的一種(非常簡(jiǎn)單的)思考方式是作為良性循環(huán)的闡述:創(chuàng)造更復(fù)雜的設(shè)備……導(dǎo)致……;這些設(shè)備的市場(chǎng)更大……這反過來(lái)又刺激……;對(duì)研發(fā)和更復(fù)雜制造的投資……這反過來(lái)又導(dǎo)致……;創(chuàng)建更復(fù)雜的設(shè)備……;……如此循環(huán)下去…摩爾在他工作的公司(首先是仙童公司,然后是英特爾公司)里看到了技術(shù)創(chuàng)新的可行速度。什么是可能的,部分取決于企業(yè)能夠承擔(dān)的投資水平。正如上文所述,這個(gè)周期當(dāng)然是對(duì)實(shí)際情況的簡(jiǎn)化。它忽略了半導(dǎo)體制造商之間的競(jìng)爭(zhēng),而在實(shí)際操作中,這將是影響他們發(fā)展更先進(jìn)設(shè)備方法的主要因素。然而,我認(rèn)為根據(jù)上述模型,有趣的是,公司之間的競(jìng)爭(zhēng)并非維持這一良性循環(huán)的先決條件。這種模式的另一個(gè)簡(jiǎn)化之處是,參與者可以展望兩年以上的周期,預(yù)測(cè)未來(lái)的改進(jìn)并為以后周期的需要做準(zhǔn)備。這是“定律”的奇妙之處之一。通過為這些發(fā)展制定時(shí)間表,企業(yè)可以集體組織起來(lái)以實(shí)現(xiàn)這些發(fā)展。有理由確信,這是促使摩爾以這種方式陳述問題的原因之一。通過概述他認(rèn)為可以預(yù)期改進(jìn)的速度,他給供應(yīng)商和客戶提供了一個(gè)提示,讓他們?yōu)檫@些改進(jìn)做好準(zhǔn)備。這些改進(jìn)的實(shí)際節(jié)奏也很重要。摩爾利用他的觀察和經(jīng)驗(yàn)制定了一個(gè)他認(rèn)為可能是可持續(xù)的改進(jìn)速度。如果他弄錯(cuò)了,那么這可能會(huì)導(dǎo)致良性循環(huán)的潛在中斷:過快的速度會(huì)導(dǎo)致技術(shù)上的過度延伸,可能導(dǎo)致無(wú)法制造出所需的更復(fù)雜的設(shè)備;太慢的速度則不足以刺激維持制造這些設(shè)備所需投資的需求通過保持可控但有意義的進(jìn)展速度,這一勢(shì)頭才能得以延續(xù)。將這一改進(jìn)速度公之于眾的一個(gè)附帶好處是,盡管企業(yè)可能會(huì)試圖加快速度以獲得競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì),但以一致的速度發(fā)展的生態(tài)系統(tǒng)將限制它們。04摩爾定律的終結(jié)摩爾在2005年做出了最后一組預(yù)測(cè)。“正如過去四十年所證明的那樣,一群富有獻(xiàn)身精神的科學(xué)家和工程師能夠做出令人驚嘆的事情。我看不到什么時(shí)候結(jié)束,我只能看到未來(lái)十年左右的情況。——戈登·摩爾,2005年”現(xiàn)在距摩爾認(rèn)為他可以預(yù)見未來(lái)的“十年左右”已經(jīng)過去了將近十年。我們現(xiàn)在能更多地談?wù)撽P(guān)于“定律”何時(shí)終結(jié)的問題嗎?首先要指出的是,像摩爾定律這樣的指數(shù)增長(zhǎng)總會(huì)在某個(gè)時(shí)候終止。集成電路上的組件數(shù)量不可能“永遠(yuǎn)”繼續(xù)翻倍。然后,如果我們回到良性循環(huán),我們會(huì)發(fā)現(xiàn)這個(gè)循環(huán)可能會(huì)因?yàn)槲茨茏龅揭韵聨c(diǎn)而被打破:創(chuàng)建更復(fù)雜的設(shè)備,或者…;為這些設(shè)備創(chuàng)建/擴(kuò)大市場(chǎng),或者…;刺激研發(fā)和先進(jìn)制造投資…;讓我們依次看看這些潛在的“故障點(diǎn)”。物理限制和路線圖本帖開篇的提到的《經(jīng)濟(jì)學(xué)人》發(fā)表的文章關(guān)注的是如何解決制造更復(fù)雜設(shè)備過程中的一些技術(shù)障礙。它強(qiáng)調(diào)了一些試圖繞過這些障礙的措施,從“幾乎投入生產(chǎn)”到“有點(diǎn)投機(jī)”,包括:從“finFET”轉(zhuǎn)向“納米片”;背面供電;硅的替代品包括“過渡金屬二硫?qū)倩铩保?/span>所有這些,無(wú)論以何種方式,都是達(dá)到一個(gè)目的的手段——進(jìn)一步縮小組件。正如我們所注意到的,摩爾定律被用來(lái)創(chuàng)建一個(gè)半導(dǎo)體行業(yè)自我組織的時(shí)間表。此時(shí),我們可以參考“設(shè)備和系統(tǒng)國(guó)際路線圖”(IRDS)中列出的當(dāng)前時(shí)間表。2023年路線圖的執(zhí)行摘要可免費(fèi)下載。這本書有64頁(yè),讀起來(lái)很引人入勝,也不算太長(zhǎng),它提供了許多關(guān)于光刻技術(shù)、材料科學(xué)、計(jì)量學(xué)和芯片制造過程其他關(guān)鍵方面可能發(fā)展的細(xì)節(jié)。我們不打算在這里總結(jié)報(bào)告的內(nèi)容。相反,我們將只關(guān)注制造過程中可能終結(jié)摩爾定律的一個(gè)方面。雖然摩爾定律的“頭條”并沒有直接指定更小的組件,但正如我們所看到的,在實(shí)踐中,通過所謂的“節(jié)點(diǎn)縮小”創(chuàng)建更小的組件一直是實(shí)現(xiàn)該定律預(yù)測(cè)的芯片上組件指數(shù)級(jí)增長(zhǎng)的關(guān)鍵。在這一點(diǎn)上,我們需要澄清一個(gè)常見的誤解。也許對(duì)公眾理解摩爾定律最無(wú)益的貢獻(xiàn)是“過程節(jié)點(diǎn)”的命名。事實(shí)上,帶有物理長(zhǎng)度標(biāo)簽(如5納米、3納米、18納米等)的“節(jié)點(diǎn)大小描述”與組件的實(shí)際大小無(wú)關(guān)。毫不奇怪的是,人們普遍認(rèn)為我們正接近基本極限,因?yàn)榻M件的大小正在接近原子級(jí)。正如Samuel K. Moore在2020年IEEE Spectrum上發(fā)表的一篇副標(biāo)題為“是時(shí)候拋棄舊的摩爾定律指標(biāo)了”的文章中所述:“畢竟,1納米只相當(dāng)于五個(gè)硅原子的寬度。因此,你完全可以認(rèn)為摩爾定律將很快終結(jié),半導(dǎo)體制造技術(shù)的進(jìn)步將不再帶來(lái)處理能力的提升,固態(tài)器件工程是一條沒有未來(lái)的職業(yè)道路。然而,你會(huì)發(fā)現(xiàn)自己想錯(cuò)了。半導(dǎo)體技術(shù)節(jié)點(diǎn)系統(tǒng)呈現(xiàn)出的畫面是不真實(shí)的。一個(gè)7納米晶體管的大部分關(guān)鍵特征實(shí)際上遠(yuǎn)大于7納米,而這種名稱與物理現(xiàn)實(shí)之間的脫節(jié)大約已經(jīng)有二十年的歷史了?!?/span>Samuel K. Moore舉了一個(gè)例子來(lái)說(shuō)明這在實(shí)踐中意味著什么:IEEE國(guó)際設(shè)備與系統(tǒng)路線圖(IRDS)主席Gargini在4月份提出,該行業(yè)通過采用一種三數(shù)字指標(biāo)來(lái)“回歸現(xiàn)實(shí)”,該指標(biāo)結(jié)合了接觸柵極間距(G)、金屬間距(M)以及對(duì)未來(lái)芯片至關(guān)重要的芯片上器件的層數(shù)(T)。“這三個(gè)參數(shù)是評(píng)估晶體管密度所需的全部信息,”ITRS負(fù)責(zé)人Gargini說(shuō)道。IRDS(International Roadmap for Devices and Systems,國(guó)際器件與系統(tǒng)發(fā)展路線圖)顯示,即將到來(lái)的5納米芯片具有48納米的柵間距、36納米的金屬間距,以及一個(gè)單層結(jié)構(gòu)——這就是G48M36T1度量。雖然這并不容易讓人記住,但它所傳達(dá)的信息比“5納米節(jié)點(diǎn)”要實(shí)用得多。因此,這些組件實(shí)際上比其節(jié)點(diǎn)名稱所暗示的要大得多。盡管如此,這些組件仍然變得非常小!最終達(dá)到由EUV光刻技術(shù)的局限性而產(chǎn)生的極限。當(dāng)然,我們以前也見過這樣的限制。EUV能夠突破DUV之前的限制,但代價(jià)是……。節(jié)點(diǎn)縮減導(dǎo)致成本上升這一成本將我們帶到了第二個(gè)潛在的失敗點(diǎn),即需要為更復(fù)雜的集成電路創(chuàng)造或擴(kuò)大市場(chǎng)。不過,首先要注意的是,接下來(lái)是對(duì)制造芯片的基本經(jīng)濟(jì)學(xué)的某些方面的極其簡(jiǎn)化的討論。值得注意的是,不僅集成電路上的組件數(shù)量呈指數(shù)級(jí)增長(zhǎng)(大致符合摩爾定律),而且這些集成電路的價(jià)格仍然在可承受范圍內(nèi),這反過來(lái)意味著每個(gè)組件的成本也呈指數(shù)級(jí)縮減。盡管半導(dǎo)體晶圓廠的成本不斷上升,但情況仍然是如此。戈登·摩爾闡述了后來(lái)被稱為“摩爾第二定律”或“洛克定律”(以阿瑟·洛克(Arthur Rock)命名,他幫助資助了英特爾并擔(dān)任該公司董事長(zhǎng)多年),該定律指出“半導(dǎo)體芯片制造廠的成本每四年翻一番”。摩爾本人敏銳地意識(shí)到光刻工具成本的增加。這是他1995年論文中的一張圖表: